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晶圓表面缺陷檢測:半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵質(zhì)量控制環(huán)節(jié)
2025-01-22

在半導(dǎo)體制造業(yè)中,晶圓作為芯片的基礎(chǔ)載體,其表面質(zhì)量直接決定了最終產(chǎn)品的性能和可靠性。晶圓在生產(chǎn)過程中,由于多種因素的影響,如材料純度、制造工藝、設(shè)備精度等,表面可能會出現(xiàn)各種缺陷,如劃痕、顆粒污染、裂紋、氧化層異常等。這些缺陷不僅會降低芯...

  • 2022-12-22

    掩模對準光刻機系統(tǒng),這是一個全新的、已經(jīng)被生產(chǎn)廠家驗證過的新型光刻曝光機以及晶圓對晶圓(W2W)接合曝光和測試系統(tǒng),可滿足用戶對更高光刻精度的需求。業(yè)內(nèi)向更小結(jié)構(gòu)和更密集封裝生產(chǎn)轉(zhuǎn)型的趨勢帶來了眾多的新挑戰(zhàn),如對更高精度的要求,因為這將嚴重影響設(shè)備的偏差律,并最終影響生產(chǎn)效率和增加成本。掩模對準光刻機系統(tǒng)可較大提高對準精度-范圍從1微米至0.1微米-從而為生產(chǎn)廠家在先進微電子、化和物半導(dǎo)體、硅基電功率、三維集成電路和納米等幾乎所有相關(guān)產(chǎn)業(yè)提供了解決方案。新一代掩模對準光刻機系...

  • 2022-12-19

    發(fā)光二極管照明是利用半導(dǎo)體的電致發(fā)光發(fā)展而來的固態(tài)照明技術(shù)。自1907年第一只發(fā)光二極管問世,到20世紀90年代,人們對LED的研究進展緩慢,期間使用GaAs和InP等第二代半導(dǎo)體材料為光源的LED僅應(yīng)用在光電探測及顯示領(lǐng)域。直到20世紀90年代中期,日本的中村修二發(fā)明了第一只超高亮度的GaN基LED,照明領(lǐng)域的大門才向LED打開。GaN作為繼第一代半導(dǎo)體材料Si,Ge和第二代半導(dǎo)體材料GaAs,InP等之后的第三代半導(dǎo)體材料,因其出色的光電性能獲得了關(guān)注和研究熱度。GaN是...

  • 2022-12-16

    晶圓鍵合自動系統(tǒng)能接受4個以上的鍵合腔體,可配置整個的晶圓鍵合過程,包括陽極鍵合、熱壓鍵合、低溫等離子體鍵合以及尺寸達300毫米的晶圓鍵合。自動晶圓黏著鍵合技術(shù)確保堆疊式設(shè)備實現(xiàn)高產(chǎn)。晶圓鍵合自動系統(tǒng)是一種重要的加工技術(shù),它使用一個中間層(典型的聚合體)來粘接兩個基層,被廣泛地運用在先進封裝中。該方法的主要優(yōu)勢在于實現(xiàn)低溫加工、使材料表面平整化和提高晶圓形貌的耐久性。在CMOS圖像傳感器的應(yīng)用方面,晶圓黏著鍵合技術(shù)會在圖像傳感器材料表面和晶圓的玻璃蓋片之間設(shè)置一層保護屏障。在...

  • 2022-12-15

    近半個世紀以來,硅一直是世界科技繁榮的重點,芯片制造商幾乎都在壓榨它的生命。傳統(tǒng)上用于制造芯片的技術(shù)在2005年左右達到了極限。那時,芯片制造商將不得不尋求其它技術(shù),將更多的晶體管塞到硅板上,而光刻機的出現(xiàn)很好幫助了芯片制造商解決這一煩惱,從而制造出更強大的芯片。下面就來詳細了解一下!光刻機必須把工程師繪制的電路板精確無誤的投到硅晶圓上,不允許有絲毫誤差,可見難度之高!將晶體管封裝到芯片上的傳統(tǒng)工藝被稱為“深紫外光刻”(DUV),這是一種類似攝影技術(shù)的技術(shù),通過透鏡聚焦光線,...

  • 2022-12-14

    紅外測厚儀對水含量、涂布量、薄膜和熱熔膠的厚度有著十分重要的意義,它擔(dān)負著傳遞目標信息的作用,直接影響檢測水含量、涂布量、薄膜和熱熔膠等厚度的準確度。今天,給大家講一下紅外測厚儀是怎么工作的?可應(yīng)用在哪些地方?一、典型應(yīng)用:測量水含量、涂布量、薄膜和熱熔膠的厚度。應(yīng)用在涂膠工序時,該設(shè)備可放置于涂膠池后、烘箱前,在線測量涂膠的厚度;應(yīng)用在造紙工序時,該設(shè)備可放置在烘箱后,在線測量干紙張的水含量。二、測量原理:利用紅外光穿透物質(zhì)時的吸收、反射、散射等效應(yīng)實現(xiàn)非接觸式測量薄膜類材...

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