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晶圓表面缺陷檢測(cè):半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵質(zhì)量控制環(huán)節(jié)
2025-01-22

在半導(dǎo)體制造業(yè)中,晶圓作為芯片的基礎(chǔ)載體,其表面質(zhì)量直接決定了最終產(chǎn)品的性能和可靠性。晶圓在生產(chǎn)過(guò)程中,由于多種因素的影響,如材料純度、制造工藝、設(shè)備精度等,表面可能會(huì)出現(xiàn)各種缺陷,如劃痕、顆粒污染、裂紋、氧化層異常等。這些缺陷不僅會(huì)降低芯...

  • 2022-08-13

    ThetaMetrisis膜厚儀應(yīng)用說(shuō)明#050應(yīng)用微間距覆晶解決方案應(yīng)用銅柱凸塊新封裝技術(shù)系列激光加工/切割冷卻液水溶性保護(hù)膜(HogoMax)厚度測(cè)量應(yīng)用。1、介紹:隨著芯片制程逐漸微縮到28奈米,凸塊尺寸同樣減小,銅柱凸塊成為繼銅打線封裝制程后新的封裝技術(shù)變革.與錫鉛凸塊比較,銅柱凸塊具有較佳的效能及較低的整體封裝成本。銅柱凸塊應(yīng)用于覆晶封裝上連結(jié)芯片和與載板的技術(shù)適合用于高階芯片封裝,例如應(yīng)用處理器、微處理器、基頻芯片、繪圖芯片等。用於半導(dǎo)體激光加工/切割工藝的高純度...

  • 2022-08-01

    激光干涉儀是利用激光作為長(zhǎng)度基準(zhǔn),對(duì)數(shù)控設(shè)備(加工中心、三座標(biāo)測(cè)量機(jī)等)的位置精度(定位精度、重復(fù)定位精度等)、幾何精度(俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等)進(jìn)行精密測(cè)量的精密測(cè)量?jī)x器。激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。單頻激光干涉儀從激光器發(fā)出的光束,經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動(dòng)反射鏡反射回來(lái)會(huì)合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí),干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號(hào),經(jīng)整形、放大后輸入可逆計(jì)數(shù)器計(jì)算出總脈沖數(shù)...

  • 2022-07-27

    位移傳感器又稱為線性傳感器,是一種屬于金屬感應(yīng)的線性器件,傳感器的作用是把各種被測(cè)物理量轉(zhuǎn)換為電量。在生產(chǎn)過(guò)程中,位移的測(cè)量一般分為測(cè)量實(shí)物尺寸和機(jī)械位移兩種。按被測(cè)變量變換的形式不同,位移傳感器可分為模擬式和數(shù)字式兩種。模擬式又可分為物性型和結(jié)構(gòu)型兩種。常用位移傳感器以模擬式結(jié)構(gòu)型居多,包括電位器式、電感式、自整角機(jī)、電容式位移傳感器、電渦流式、霍爾式等。位移傳感器主要用于設(shè)備位移測(cè)量與位置定位,質(zhì)量的優(yōu)劣直接決定了機(jī)械設(shè)備測(cè)量精度與控制效果的好壞。安裝好位移傳感器后,出現(xiàn)...

  • 2022-07-19

    光學(xué)輪廓儀是一種雙LED光源的非接觸式光學(xué)儀器,對(duì)樣品基本上沒(méi)有損害。視樣品選擇不同測(cè)量模式。相移干涉模式(PSI)主要用于測(cè)量光滑表面粗糙度;垂直掃描干涉模式(VSI)則可以做高度、寬度、曲率半徑,粗糙度的計(jì)測(cè)等。光學(xué)輪廓儀工作原理:光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束,一束經(jīng)被測(cè)表面反射回來(lái),另外一束光經(jīng)參考鏡反射,兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉,顯微鏡將被測(cè)表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號(hào),通過(guò)測(cè)量干涉條紋的變化來(lái)測(cè)量表面三維形貌。3D形貌地圖配合色譜圖,非常直...

  • 2022-07-13

    微波等離子清洗機(jī)作為一種綠色無(wú)污染的高精密干法清洗方式,可以有效去除表面污染物,避免靜電損傷。簡(jiǎn)述了微波等離子清洗機(jī)的原理及特點(diǎn),介紹了設(shè)備的構(gòu)成、清洗工藝和模式,對(duì)微波導(dǎo)入和微波源與負(fù)載的匹配兩個(gè)關(guān)鍵技術(shù)進(jìn)行了研究;通過(guò)工藝驗(yàn)證,微波等離子清洗降低了接觸角度,提高了引線鍵合強(qiáng)度。等離子體是物質(zhì)存在的一種基本形態(tài)(被稱為物質(zhì)的第四態(tài)),是由原子,電子,分子,離子或自由基組合而成,等離子清洗就是通過(guò)物理、化學(xué)作用對(duì)被清洗物表面進(jìn)行處理,實(shí)現(xiàn)去除分子水平污染物的一種工藝過(guò)程,同時(shí)...

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